Clean Room System

Технические характеристики

• Стандартные типоразмеры линейных актуаторов: "ONE 50", "ONE 80", "ONE 110".
•  Изделия специально разработаны для использования в составе средств автоматизации производств, требующих их размещения в чистых комнатах (вплоть до класса "ISO1" по стандарту "DIN EN ISO 14644-1").
• В конструкции использованы материалы, минимально склонные к образованию частиц.
• В качестве смазочных материалов использованы специальные смазки, пригодные для применения в чистых комнатах.
• Максимальная скорость перемещения: 5 м/с.
• Максимальное ускорение: 50 м/с².
• Стабильность позиционирования: 0,05 мм.
• Максимальная статическая нагрузка по осям: Fx: 4 410 Н, Fy: 79 000 Н, Fz: 79 000 Н.
• Максимальный статический момент по осям: Mx: 1 300 Нм, My: 7 110 Нм, Mz: 7 110 Нм.

Описание

Актуаторы серии "Clean Room System" соответствуют стандарту "DIN EN ISO 14644-1" и защищены международным патентом.

Актуаторы этой серии представляют собой линейные актуаторы с механизмом перемещения на основе ремённой передачи, специально разработанные для использования в чистых комнатах.

В комплект поставки каждого актуатора входит сертификат, выданный органом сертификации "IPA Fraunhofer Institute" из г. Штуттгарт, Германия, свидетельствующий о соответствии актуатора классу "ISO 3" по стандарту "DIN EN ISO 14644-1" или классу "Fed Std 0.01" по стандарту "FED 209 E".

Особенность актуатора заключается в том, что его конструкция препятствует попаданию частиц изнутри актуатора в то помещение, в котором он эксплуатируется. Для этой цели в актуаторе предусмотрено специальное уплотнение, перекрывающее горизонтальное отверстие, в котором перемещается каретка, а также предусмотрен специальный вакуумный насос на 0,8 бар с подключёнными к нему двумя всасывающими трубками, расположенными в приводной и ведомой головках. Такая конструкция позволяет создавать внутри актуатора разрежение и улавливать все образующиеся при его работе частицы, отводя их в систему фильтрации. Все компоненты актуаторов "Clean Room System" выполнены из нержавеющей стали или обработаны по специальной технологии, позволяющей минимизировать образование внутри актуатора любых частиц. Смазочные материалы, использованные для смазки всех подшипников и всех направляющих таких актуаторов, являются специальными смазочными материалами, пригодными для их использования в чистых комнатах и в условиях разрежения.

Актуаторы данной серии также пригодны для их использования в условиях повышенной загрязнённости воздуха - в этом случае в них создаётся избыточное давление в 0,8 бар, препятствующее попадание вовнутрь актуатора чужеродных частиц извне.

Основные области применения линейных актуаторов "Clean Room System":

• производство полупроводников;
• медицина.